[实用新型]真空溅镀用新型防着板

摘要

本实用新型公开了一种真空溅镀用新型防着板，防着板本体包括基板和覆盖板，基板的第一表面设有凹槽，凹槽的底面为弧面，相邻凹槽之间设有第一背脊，凹槽内设有至少一条冷却流道，散热流道的顶面为弧面，冷却流道设有若干散热盘；覆盖板为冲压形成若干相连凹条的金属片，相邻凹条之间形成容纳槽，凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起。本实用新型提供一种真空溅镀用新型防着板，不需将整个防着板更换，只需更换覆盖板，节省成本；覆盖板表面设有凹槽和凸起，增加防着板的沉淀能力；再者，设置冷却流道，利于覆盖板的散热，避免覆盖板发生形变，免除生产过程中停工更换或清洗防着板的麻烦，提高生产效率。

主权项

1.一种真空溅镀用新型防着板，其特征在于：包括防着板本体(1)，所述防着板本体包括基板(11)和覆盖板(12)，所述基板与所述覆盖板可拆卸连接；所述基板的靠近覆盖板一侧的第一表面设有若干等间隔排布的且为条状的凹槽(111)，所述凹槽的宽度为40‑60mm,所述凹槽的底面为弧面(112)，相邻所述凹槽之间设有背脊(113)，所述背脊的上端向上延伸形成截面为倒梯形状的卡边(1131)；将凹槽的长度方向定义为横向且宽度方向定义为纵向，所述凹槽内设有至少一条横向排布的冷却流道(114)，所述冷却流道的顶面为弧面，所述冷却流道的宽度为10‑20mm且高度为5‑15mm，所述冷却流道沿其长度方向等间隔设有若干散热盘(115)，所述散热盘的截面为圆形且直径皆为20‑30mm，高度皆为5‑15mm；所述覆盖板为冲压形成若干相连凹条(121)的金属片，所述凹条与所述基板的凹槽的形状相适应，相邻所述凹条之间形成能够容纳背脊的容纳槽(122)，所述基板的背脊卡于所述容纳槽实现基板与所述覆盖板之间的可拆卸连接；所述凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起(123)，所述条形凸起的两端分别与所述凹条的宽度方向的两侧连接，所述条形凸起的高度为20‑30mm且宽度为10‑20mm,相邻所述条形凸起之间的中心距离为50‑100mm。