[实用新型]一种旋转吊装平面靶

摘要

一种旋转吊装平面靶，解决现有技术存在的靶基距大，溅射速率低，镀膜成本高，冷却效果差的问题。包括平面靶体和溅射靶材，其特征在于：平面靶体的外侧设置有一侧布置开口的固定屏蔽，平面靶体的上端与旋转轴相连，旋转轴通过转动轴承座与真空室顶壁相连，旋转轴与回转驱动机构相连；旋转轴中部设置的中心通孔内布置有中心进水管，中心进水管的上端设置进水口；中心进水管外壁与旋转轴中心通孔内壁之间设置出水通道；平面靶体磁极板的循环冷却通道的进口，与中心进水管相连，循环冷却通道的出口与出水通道相连。其设计合理，结构紧凑，能够使靶基距最小化，有效提高溅射速率，节省靶材，降低成本；靶体冷却效果好，靶材溅射功率高。

主权项

1.一种旋转吊装平面靶，包括平面靶体（14），平面靶体（14）内部设置有磁极板（18），磁极板（18）上设置有永磁体（19），永磁体（19）前侧的平面靶体（14）上设置有溅射靶材（15），其特征在于：所述平面靶体（14）的外侧设置有筒状的固定屏蔽（17），固定屏蔽（17）的一侧设置有开口；所述平面靶体（14）的上端与旋转轴（13）相连，旋转轴（13）通过转动轴承座（12）与真空室顶壁（1）的外侧相连，且旋转轴（13）与回转驱动机构相连；所述旋转轴（13）的中部设置有沿轴线布置的中心通孔，中心通孔内设置有中心进水管（10），中心进水管（10）的上端设置有进水口（6）；中心进水管（10）的外壁与旋转轴（13）中心通孔的内壁之间设置有出水通道（11），出水通道（11）的上端设置有出水口（7）；所述平面靶体（14）的磁极板（18）内部设置有竖直布置的循环冷却通道（16），循环冷却通道（16）的进口与旋转轴（13）中部的中心进水管（10）相连，循环冷却通道（16）的出口则与旋转轴（13）内的出水通道（11）相连。