[实用新型]电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具有效
| 申请号： | 201821125161.3 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN208814939U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 翁楠凯 | 申请（专利权）人： | 聚贤研发股份有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/29 | 分类号： | C09J7/29;H01L31/18;H01J37/02;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具，其所设一保护膜设为具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据电浆制程设备的腔室内所欲保护装置元件的形状裁切而成，又该保护膜的一面涂布有一粘胶层；凭借以该保护膜粘贴于电浆制程设备内的装置元件，来保护该装置元件不受电浆的渗透影响而干扰其电浆制程。 | ||
| 搜索关键词： | 电浆制程设备 保护膜 元件保护膜 安装治具 装置元件 内装置 电浆 保护装置元件 本实用新型 高温耐受 金属离子 粘胶层 裁切 受电 制程 粘贴 室内 | ||
【主权项】：
1.一种电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征是包含有：一保护膜，以具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据电浆制程设备的腔室内所欲保护装置元件的形状裁切而成，该保护膜的一面涂布有一粘胶层；一离型膜，该离型膜具有对应该保护膜的形状，并贴合于该保护膜的粘胶层。
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