[实用新型]一种晶体生长炉用保温侧屏有效
申请号: | 201821139698.5 | 申请日: | 2018-07-18 |
公开(公告)号: | CN208562588U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 王大庆 | 申请(专利权)人: | 成都新源汇博光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 胡川 |
地址: | 610207 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长炉用保温侧屏,涉及晶体生长装置技术领域。本实用新型包括内屏组和外屏组,内屏组由若干筒状内屏同心设置形成,外屏组由若干筒状外屏同心设置形成;内屏组设于外屏组内,内屏组的高度小于外屏组;外屏组上布置有若干筋条,穿过外屏组与内屏组将其固定连接;筋条在外屏组的圆周上均布。本实用新型的径向筋条骨架可以提高整个保温侧屏的机械强度,避免出现相邻内、外屏的连锁坍塌,而加固组件可以减小保温侧屏径向上的变形错位,避免影响籽晶杆的正常工作。 | ||
搜索关键词: | 外屏 内屏 侧屏 保温 本实用新型 晶体生长炉 同心设置 筋条 筒状 晶体生长装置 加固组件 径向筋条 籽晶杆 减小 均布 组设 坍塌 变形 错位 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种晶体生长炉用保温侧屏,其特征在于,包括内屏组(1)和外屏组(2),所述内屏组(1)由若干筒状内屏同心设置形成,所述外屏组(2)由若干筒状外屏同心设置形成;所述内屏组(1)设于外屏组(2)内,所述内屏组(1)的高度小于外屏组(2);所述外屏组(2)上布置有若干筋条(4),穿过外屏组(2)与内屏组(1)将其固定连接;所述筋条(4)在外屏组(2)的圆周上均布。
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