[实用新型]硅片清洗分选系统

摘要

本实用新型涉及一种硅片清洗分选系统。该系统包括：硅片清洗机、硅片分选机、出料位传输线、第一机械手、翻转机构、回流传输线、第二机械手以及控制系统。上述硅片清洗分选系统由于设置有出料位传输线、第一机械手、翻转机构、回流传输线和第二机械手，使得硅片清洗机清洗完毕的硅片可自动转运到硅片分选机的上料工位，不需要人工搬运。这样可降低劳动强度。由于全程采用机械化作业，使得硅片由硅片清洗机转运到硅片分选机所用的时间缩短，有利于提高硅片分选机的上料效率。

主权项

1.一种硅片清洗分选系统，其特征在于，包括：硅片清洗机；硅片分选机，具有上料工位；出料位传输线，所述出料位传输线设于硅片清洗机和硅片分选机之间；第一机械手，所述第一机械手设于所述出料位传输线的一侧，用于将硅片清洗机内的承载有硅片的花篮转移至所述出料位传输线；翻转机构，所述翻转机构包括固定结构及驱动结构，所述固定结构用以固定承载有硅片的花篮，所述驱动结构带动所述固定结构翻转将承载有硅片的花篮翻转至硅片分选机的上料工位，及将花篮从上料工位移走；回流传输线，所述回流传输线的一端设于所述翻转机构的一侧，用于传输空置的花篮；第二机械手，所述第二机械手设于所述出料位传输线的一侧，用于将出料位传输线上的承载有硅片的花篮转移至所述翻转机构上，以及用于将所述翻转机构上的空置的花篮转移至所述回流传输线；控制系统，所述控制系统用于控制所述硅片清洗机、硅片分选机、出料位传输线、第一机械手、翻转机构、回流传输线和第二机械手的运转。