[实用新型]剥离工艺后金属回收系统有效
| 申请号： | 201821144323.8 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN208455046U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘忠贺;王一 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆剥离工艺的技术领域，特别涉及一种剥离工艺后金属回收系统。包括单元腔体、一级过滤装置、二级过滤装置及供液系统，其中一级过滤装置设置于单元腔体的腔体底板上，一级过滤装置通过管路与二级过滤装置连接，二级过滤装置通过供液系统与单元腔体连接，形成循环供液系统。本实用新型大幅提升了剥离工艺的金属回收率，通过药液的循环使用，节约了大量的剥离工艺中使用的化学液，节约成本，减少资源浪费，达到了节约成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离工艺 二级过滤装置 一级过滤装置 单元腔体 金属回收系统 本实用新型 供液系统 节约 循环供液系统 金属回收率 腔体底板 化学液 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，包括单元腔体(8)、一级过滤装置(1)、二级过滤装置(2)及供液系统，其中一级过滤装置(1)设置于单元腔体(8)的腔体底板(13)上，所述一级过滤装置(1)通过管路与二级过滤装置(2)连接，所述二级过滤装置(2)通过供液系统与所述单元腔体(8)连接，形成循环供液系统。
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