[实用新型]铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池电沉积装置

摘要

本实用新型涉及铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池电沉积设备，包括控制器、移动装置、机体、电镀槽、喷水清洗槽、浸泡清洗槽、高压N₂吹干槽、高压气瓶。在CIGS薄膜太阳能电池的制备过程中，为了提高原材料的利用率，改善大面积生产均匀性，提升产品质量和降低生产成本等问题，本实用新型通过新型的铜铟镓沉积设备，可以很好的将Cu、In、Ga沉积在基片(待沉积件)上，并可以提高沉积速度，改善大面积生产均匀性以及降低生产成本。

主权项

1.铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池电沉积装置，其特征在于，包括控制器、移动装置、机体、电镀槽、喷水清洗槽、浸泡清洗槽、高压N2吹干槽、高压气瓶；其中，所述控制器，用来控制移动装置和高压气瓶的工作；所述移动装置，包括滑动台、升降架、产品架；所述机体，用于放置电镀槽、喷水槽、浸泡清洗槽、高压N2吹干槽，而且布置有移动装置滑动台移动的滑轨；所述电镀槽，布置在喷水清洗槽前面，里面盛有电镀液，其上布置Cu电极、In电极和Ga电极；所述喷水清洗槽前面，盛有水溶液，布置在浸泡清洗槽前面，用以清洗镀层产品件；所述浸泡清洗槽，盛有水溶液，布置在第二道电镀槽前面；所述高压N2吹干槽，布置在第三道浸泡清洗槽，用以吹干沉积基片，防止其氧化，并为硒化做准备；所述高压气瓶，内部装有N2，罐壁装有气管，气管上布置哟若干有喷气头。