[实用新型]一种晶体生长炉用保温托盘及保温罩有效
申请号: | 201821157980.6 | 申请日: | 2018-07-18 |
公开(公告)号: | CN208701246U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 王大庆 | 申请(专利权)人: | 成都新源汇博光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 胡川 |
地址: | 610207 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长炉用保温托盘及保温罩,涉及晶体生长设备技术领域。本实用新型的保温托盘设置在侧屏下方,用于码放并支撑侧屏,包括环状盘体,环状盘体的中部设有通孔,在该通孔的内壁上设有凸缘;环状盘体的上表面布置有若干同心的环状槽,环状槽之间等间距布置。本实用新型解决了保温罩的侧屏受热变形造成上屏错位锁死的问题,同时减少侧屏与保温托盘、上屏之间的热量散失。 | ||
搜索关键词: | 保温托盘 侧屏 本实用新型 环状盘体 保温罩 晶体生长炉 环状槽 上屏 通孔 晶体生长设备 等间距布置 热量散失 受热变形 上表面 同心的 码放 内壁 锁死 凸缘 错位 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种晶体生长炉用保温托盘,包括环状盘体(100),所述环状盘体(100)的中部设有通孔,在该通孔的内壁上设有凸缘(200);其特征在于:所述环状盘体(100)的上表面布置有若干同心的环状槽(300),所述环状槽(300)之间等间距布置。
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