[实用新型]一种卷绕镀膜机有效
申请号: | 201821160795.2 | 申请日: | 2018-07-20 |
公开(公告)号: | CN208717430U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 张德强 | 申请(专利权)人: | 江门市兆业科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 廖华均 |
地址: | 529000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种卷绕镀膜机,包括有真空室以及设置在真空室内部的卷绕系统和靶极,靶极和卷绕系统均连接有控制系统,控制系统控制靶极和卷绕系统的工作,卷绕系统沿着绕卷基材薄膜的行进方向依次平行设置有放卷轴、第一张力辊、下主动辊、上主动辊、第二张力辊以及收卷轴,靶极对应上、下主动辊设置,真空室内部设置有光源发射器以及光束接收器,光束接收器连接有快速光谱仪,快速光谱仪与控制系统电性连接;真空室顶部设置有喷油装置,用以给真空室内部喷油润滑;真空室内部还设置有感应探头,感应探头电性连接有残余气体分析仪。本实用新型提供的一种卷绕镀膜机,可以提高产品的质量,满足用户的需求。 | ||
搜索关键词: | 真空室内部 卷绕系统 靶极 卷绕镀膜机 控制系统 主动辊 本实用新型 光束接收器 快速光谱仪 电性连接 感应探头 张力辊 真空室 残余气体分析仪 光源发射器 顶部设置 基材薄膜 喷油润滑 喷油装置 平行设置 放卷轴 收卷轴 绕卷 行进 | ||
【主权项】:
1.一种卷绕镀膜机,包括有真空室(1)以及设置在真空室(1)内部的卷绕系统和靶极(2),所述靶极(2)和卷绕系统均连接有控制系统(19),所述控制系统(19)控制所述靶极(2)和卷绕系统的工作,其特征在于:所述卷绕系统沿着绕卷基材薄膜(20)的行进方向依次平行设置有放卷轴(3)、第一张力辊(4)、下主动辊(5)、上主动辊(6)、第二张力辊(7)以及收卷轴(8),所述靶极(2)对应上主动辊(6)、下主动辊(5)设置,所述真空室(1)内部设置有支架,所述支架上设置有光源发射器(9)以及光束接收器(10),所述光源发射器(9)连接有光源,所述光束接收器(10)连接有快速光谱仪,所述快速光谱仪与所述控制系统(19)电性连接,所述光源发射器(9)以及光束接收器(10)对应设置在所述第二张力辊(7)与收卷轴(8)之间,用以检测绕卷基材薄膜(20)的厚度;所述真空室(1)顶部设置有喷油装置,用以给真空室(1)内部喷油润滑;所述真空室(1)内部还设置有感应探头(11),所述感应探头(11)电性连接有残余气体分析仪(12),所述感应探头(11)与残余气体分析仪(12)配合使用,以对真空室(1)内气体监测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江门市兆业科技有限公司,未经江门市兆业科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821160795.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:配置辅助阳极的低温沉积设备
- 下一篇:一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机
- 同类专利
- 专利分类