[实用新型]双灯丝离子源装置

摘要

本实用新型的双灯丝离子源装置，采取对称灯丝及对称热阴极，分别设置于电弧室的对称两侧，以增加装置的灯丝数量，同时使用三个转换开关实现相应电源的电路转换，以保证装置在工作状态下只有单一回路的电源供电。具有以下有益效果，通过增加一组灯丝延长离子源装置的使用周期，减少灯丝更换次数，从而提高离子源装置的稼动率、降低保养的人力成本及清洗成本；另外，利用三个转换开关进行电路切换，不需要额外购置电源供应装置；最后，采用双切换开关既可实现电路的转换效果又可实现电路的互锁防呆，提高了电路安全性能。

主权项

1.一种双灯丝离子源装置，其特征在于，所述装置包括：电弧室，具有相对的第一侧壁和第二侧壁及一电离气体导入口，所述第一侧壁具有第一开口，所述第二侧壁具有第二开口；第一自由电子产生元件，包括第一灯丝及第一热阴极，所述第一热阴极自所述第一开口陷入所述电弧室内，所述第一热阴极于所述第一灯丝加热作用下释放自由电子至所述电弧室内；第二自由电子产生元件，包括第二灯丝及第二热阴极，所述第二热阴极自所述第二开口陷入所述电弧室内，所述第二热阴极于所述第二灯丝加热作用下释放自由电子至所述电弧室内；电源供应装置，包括：灯丝电源及灯丝电源转换开关，所述灯丝电源通过所述灯丝电源转换开关耦接至所述第一灯丝或所述第二灯丝；偏置电源及偏置电源转换开关，所述偏置电源的负极耦接至所述第一灯丝及所述第二灯丝，所述偏置电源的正极通过所述偏置电源转换开关耦接至所述第一热阴极或所述第二热阴极；电弧电源，所述电弧电源的正极耦接至所述电弧室，所述电弧电源的负极通过所述偏置电源转换开关耦接至所述第一热阴极或所述第二热阴极；反射电源及反射电源转换开关，所述反射电源的正极耦接至所述电弧室，所述反射电源的负极通过所述反射电源转换开关耦接至所述第一热阴极或所述第二热阴极。