[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置

摘要

本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其中，传动辊包括辊道以及插设于辊道中并与辊道过盈配合的轴头，轴头上设有键槽，拆卸装置包括套设在轴头外周部的间隔套，间隔套的一端与辊道的端部配合相连，间隔套的另一端与穿心式千斤顶的一端端部相抵接，穿心式千斤顶包括油腔、可沿油腔滑动的运动组件，穿心式千斤顶呈具有内部空腔的柱状，内部空腔中可活动的设有连接轴，连接轴的一端与轴头相连，连接轴的另一端与固定轴相连，固定轴与运动组件固定相连，本实用新型的拆卸装置结构简单，操作方便，可有效提高拆卸效率和拆卸精度。

主权项

1.一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其中，所述传动辊包括辊道以及插设于所述辊道中并与所述辊道过盈配合的轴头，所述轴头上设有键槽，其特征在于：所述拆卸装置包括套设在所述轴头外周部的间隔套，所述间隔套的一端与所述辊道的端部配合相连，所述间隔套的另一端与穿心式千斤顶的一端端部相抵接，所述穿心式千斤顶包括油腔、可沿所述油腔滑动的运动组件，所述穿心式千斤顶呈具有内部空腔的柱状，所述内部空腔中可活动的设有连接轴，所述连接轴的一端与所述轴头相连，所述连接轴的另一端与固定轴相连，所述固定轴与所述运动组件固定相连。