[实用新型]微机械超声换能器有效
申请号: | 201821180891.3 | 申请日: | 2018-07-25 |
公开(公告)号: | CN209077097U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | M·H·莫蒂安纳加尔;P·斯迈斯 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06;B06B1/10 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵志刚;魏利娜 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本申请涉及微机械超声换能器。混合微机械超声换能器(102)包括压电微机械换能器(202)和电容微机械换能器(204)。电容微机械换能器(204)与压电微机械换能器(202)垂直堆叠。压电微机械换能器(202)和电容微机械换能器(204)包括公共共享电极(210)。 | ||
搜索关键词: | 微机械换能器 微机械超声换能器 电容 压电 垂直堆叠 共享电极 申请 | ||
【主权项】:
1.一种微机械超声换能器,包括:压电微机械换能器;和电容微机械换能器,其与所述压电微机械换能器垂直堆叠;其中所述压电微机械换能器和所述电容微机械换能器包括公共共享电极。
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