[实用新型]用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜

摘要

本实用新型公开了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜、减反射膜、偏振膜和扩散膜，所述反射膜、减反射膜、偏振膜以及扩散膜均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板隔开，所述反射膜、减反射膜、偏振膜、扩散膜以及十字型隔板的下端均贴合有HR介质膜层，所述HR介质膜层的下端贴合有偏振片。本实用新型可测试多种不同功能的膜对激光的反射现象，便于直观的进行对比，同时具有抗紫外线黄变功能。

主权项

1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)和扩散膜(7)，其特征在于：所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)以及扩散膜(7)均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板(4)隔开，所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)、扩散膜(7)以及十字型隔板(4)的下端均贴合有HR介质膜层(2)，所述HR介质膜层(2)的下端贴合有偏振片(1)。