[实用新型]一种圆形压电振子驱动微流体阀

摘要

本实用新型涉及一种圆形压电振子驱动微流体阀。包括：阀座（1）、柔性支架（2）、弹性悬架（3）、圆形压电振子（4）和柔性阀塞（5），其中：所述柔性支架为中空圆柱，其内侧壁加工有环形凹槽；所述圆形压电振子粘接在所述柔性阀塞上端面；所述弹性悬架布置于所述环形凹槽内；所述弹性悬架的中心部分布置有柔性阀塞安装孔，将所述柔性阀塞固定于所述柔性阀塞安装孔内；当圆形压电振子通电时，其往复弯曲振动的同时，会在水平方向产生伸缩变形，带动与其连接的柔性支架以及弹性悬架的水平方向伸缩变形，引起柔性阀塞沿竖直方向上下运动，达到开闭阀的目的，同时，将圆形压电振子的水平伸缩位移进行了放大，提升了阀的流量调节范围。

主权项

1.一种圆形压电振子驱动微流体阀，包括：阀座（1）、柔性支架（2）、弹性悬架（3）、圆形压电振子（4）和柔性阀塞（5），其中：所述阀座（1）上布置有流体入口（11）和流体出口（12），所述流体入口（11）位于所述阀座（1）的中心位置；所述柔性支架（2）为中空圆柱，内外侧壁的中间部分分别加工有内侧壁圆弧凹槽（21）和外侧壁圆弧凹槽（22），且在其内侧壁圆弧凹槽（21）上又加工有环形凹槽（23），且所述环形凹槽（23）位于内侧壁圆弧凹槽（21）的上半部分圆弧位置；所述柔性支架（2）与所述阀座（1）外径相同，连接于所述阀座（1）的上表面；所述圆形压电振子（4）粘接在所述柔性支架（2）上端面，连同所述柔性支架（2）形成密封腔体；所述弹性悬架（3）布置于所述柔性支架（2）上的环形凹槽（23）内；所述弹性悬架（3）的中心部分布置有柔性阀塞安装孔（31），将所述柔性阀塞（5）固定于所述柔性阀塞安装孔（31）内。