[实用新型]基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置

摘要

本申请公开了一种基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，包括机械手，机械手包括其末端用于安装手爪部的手臂部，还包括：设置于所述手臂部末端的纳米调整台，其位置与地面相对固定的、且具有漫反射表面的定位靶，用于向所述定位靶的漫反射表面发射定位光束的激光发生单元，用于接收从所述漫反射表面反射的光线从而在其内呈现散斑图像、且与所述纳米调整台电路连接的定位相机；所述激光发生单元末端的出光元件以及所述定位相机均固定于所述纳米调整台上。本申请能够非常精确测量机械手重复定位的精度，全面提升机械手重复定位测量的技术水平。

主权项

1.一种基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，包括机械手，所述机械手包括其末端用于安装手爪部的手臂部(2)，其特征在于，还包括：设置于所述手臂部(2)末端的纳米调整台(4)，其位置与地面相对固定的、且具有漫反射表面的定位靶(5)，用于向所述定位靶(5)的漫反射表面发射定位光束的激光发生单元，以及用于接收从所述漫反射表面反射的光线从而在其内呈现散斑图像、且与所述纳米调整台(4)电路连接的定位相机(6)；所述激光发生单元末端的出光元件以及所述定位相机(6)均固定于所述纳米调整台(4)上。