[实用新型]一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置有效
申请号: | 201821191396.2 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN209060862U | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 张奎;冉康德;林百志;刘彬;张剑明 | 申请(专利权)人: | 福建德尔科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/74 | 分类号: | B01D53/74;B01D53/81;C07C19/08;C07C17/38;C07C17/395 |
代理公司: | 南昌赣专知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 刘锦霞 |
地址: | 364200 福建省龙岩*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置,包括CF4进气管路、吸附筒一、吸附筒二、再生气体管路、CF4出气管路、尾气管路、除尘装置、微氧检测仪器,所述CF4进气管路分别与吸附筒一、吸附筒二的进气口连接,所述吸附筒一、吸附筒二的出气口通过管路与除尘装置连接,所述除尘装置还与所述CF4出气管路连接,所述再生气体管路分别与吸附筒一、吸附筒二的出气口连接,所述吸附筒一、吸附筒二还与所述尾气管路连接。本实用新型的有益效果:将不能在一般的提纯、分离、精馏系统中除掉的微量氧化性物质分解成为能够与目标产物四氟甲烷实现分离的杂质气体,且能够循环使用,保证生产的连续稳定运行。 | ||
搜索关键词: | 吸附筒 氧化性物质 除尘装置 四氟甲烷 本实用新型 出气管路 进气管路 尾气管路 再生气体 出气口 分解 进气口连接 精馏系统 目标产物 稳定运行 杂质气体 提纯 除掉 微氧 检测 保证 生产 | ||
【主权项】:
1.一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置,其特征在于,包括CF4进气管路(2)、吸附筒一(3)、吸附筒二(14)、再生气体管路(1)、CF4出气管路(5)、尾气管路(7)、除尘装置(4)、微氧检测仪器(6),所述CF4进气管路(2)分别与吸附筒一(3)、吸附筒二(14)的进气口连接,所述吸附筒一(3)、吸附筒二(14)的出气口通过管路与除尘装置(4)连接,所述除尘装置(4)还与所述CF4出气管路(5)连接,所述再生气体管路(1)分别与吸附筒一(3)、吸附筒二(14)的出气口连接,所述吸附筒一(3)、吸附筒二(14)还与所述尾气管路(7)连接。
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