[实用新型]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 201821201263.9 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN208776834U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 贺涛 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种镀膜设备，涉及氢气检测技术领域，为检测镀膜设备中的运输腔中是否存有氢气而设计。所述镀膜设备包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。本实用新型提供的镀膜设备具有氢气检测功能。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜设备 检测管 氢气检测元件 氢气检测装置 本实用新型 氢气检测 提示元件 氢气 连通 电连接 排气管 提示 检测 配置 运输 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，所述镀膜设备包括排气管和运输腔，所述排气管与所述运输腔连通，其特征在于，所述镀膜设备还包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
