[实用新型]传送半导体基板的工作站有效
| 申请号： | 201821204817.0 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208637397U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 游宏程;张志逢;陈伟仁;刘家诚;林展永 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种传送半导体基板的工作站，包括仓储管理装置、基板搬送装置及转载台。仓储管理装置允许输入、输出及储存多个基板传送盒，且能搬运储存的该多个基板传送盒。基板搬送装置设在仓储管理装置内，且用以搬运多个基板传送盒储存的多个基板至加工位置及转载位置。加工位置对应加工设备。转载台位在转载位置，且承接基板搬送装置输送的基板。本实用新型的传送半导体基板的工作站可以有效率地输送基板传送盒及基板，以提高产能及避免基板被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 多个基板 传送盒 传送半导体基板 仓储管理 基板 工作站 基板搬送装置 本实用新型 加工位置 转载位置 储存 搬运 搬送装置 承接基板 加工设备 输送基板 产能 台位 输出 污染 | ||
【主权项】：
1.一种传送半导体基板的工作站，其特征于，包括：一仓储管理装置，允许输入、输出及储存多个基板传送盒，且能搬运储存的该多个基板传送盒；一基板搬送装置，设在该仓储管理装置内，且用以搬运该多个基板传送盒储存的多个基板至一加工位置及一转载位置，该加工位置对应一加工设备；及一转载台，位在该转载位置，且承接该基板搬送装置输送的该基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
