[实用新型]一种可动光学元件调节定位装置

摘要

本实用新型涉及曝光设备制造技术领域，尤其涉及一种可动光学元件调节定位装置，包括镜筒、镜座和镜片，镜片安装在镜座中，还包括定心簧片和多个位移转换机构，镜座通过定心簧片与镜筒柔性连接，定心簧片能够为镜座提供定心功能；多个位移转换机构设置在镜筒与镜座之间，位移转换机构能将自身的横向位移转换为镜座的轴向位移，以调节镜片相对于镜筒的轴向位移或倾斜角度。定心簧片能够为镜座提供定心功能，且不会带来其他方向的串扰；位移转换机构能够将其自身的横向位移转换为镜座的轴向位移，从而实现镜片相对于镜筒的轴向位移和倾斜角度的调节；且其设置在镜筒中，解决了密封和污染问题，方便集中制造加工和集中调试。

主权项

1.一种可动光学元件调节定位装置，包括镜筒(1)和镜座(2)，所述镜座(2)中安装镜片(3)，其特征在于，还包括：定心簧片(4)，所述镜座(2)通过所述定心簧片(4)与所述镜筒(1)柔性连接，所述定心簧片(4)能够为所述镜座(2)提供定心功能；多个位移转换机构(5)，设置在所述镜筒(1)和所述镜座(2)之间，所述位移转换机构(5)能将其自身的横向位移转换为所述镜座(2)的轴向位移，以调节所述镜片(3)相对于所述镜筒(1)的轴向位移或倾斜角度。