[实用新型]一种半导体废气处理设备反应腔体支架有效

专利信息
申请号: 201821212336.4 申请日: 2018-07-30
公开(公告)号: CN208817013U 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 崔汉博 申请(专利权)人: 上海高生集成电路设备有限公司
主分类号: F16M11/18 分类号: F16M11/18;F16M11/20
代理公司: 北京易光知识产权代理有限公司 11596 代理人: 李韵
地址: 201315 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及废气处理设备技术领域,具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架,包括安装板和承托板,所述承托板固定焊接在反应腔的腔体外侧壁上,所述承托板包括弧形板,弧形板焊接在反应腔的腔体外侧壁上,且弧形板的上下两端均一体设置连接板,所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂,本实用新型的有益效果是:旋转角度可达300°,完全实现腔体在机台内进出;轻松避开与机台其它零部件的碰触,避免造成零件的损坏;安装有塑料衬套,使腔体旋转更加轻松、自如。本装置通过锁销连接,方便拆装。可以更加轻松的上下移动腔体,实现方便的拆装腔体目的。本装置结构牢固,安全可靠,可一人操作,节省人力。
搜索关键词: 承托板 弧形板 半导体废气处理设备 机台 本实用新型 腔体外侧壁 反应腔体 反应腔 连接板 腔体 支架 废气处理设备 方便拆装 固定焊接 螺栓连接 上下两端 上下移动 塑料衬套 一体设置 装置结构 安装板 碰触 锁销 焊接 零部件 手臂 避开 贯穿
【主权项】:
1.一种半导体废气处理设备反应腔体支架,包括安装板(6)和承托板(11),所述承托板(11)固定焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上,其特征在于:所述承托板(11)包括弧形板,弧形板焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上,且弧形板的上下两端均一体设置连接板,所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂(2),所述手臂(2)的下端一侧设置突出设置定位柱(21);所述安装板(6)的侧壁上焊接两个固定板(61),且安装板(6)在靠近固定板(61)的一侧底端焊接固定座,所述固定座上通过螺栓安装有千斤顶(8),两个固定板(61)之间插入第一支撑架(4)的一端,所述第一支撑架(4)的两侧均贯穿设置穿孔,所述固定板(61)与第一支撑架(4)一侧的穿孔均贯穿设置定位销二(7),所述定位销二(7)与第一支撑架(4)的一侧均贯穿设置锁销孔(41),且定位销二(7)与第一支撑架(4)通过穿插在锁销孔(41)中的锁销固定,所述第一支撑架(4)的另一侧设置第二支撑架(3),所述第二支撑架(3)的两侧均设置穿孔,所述第二支撑架(3)一侧的两端交错位于第一支撑架(4)的远离安装板(6)的两端上方,且第二支撑架(3)与第一支撑架(4)相互靠近的穿孔中穿插定位销一(5),所述定位销一(5)的顶端设置限位台;所述第二支撑架(3)远离第一支撑架(4)一端设置的穿孔中自上而下插接定位柱(21),且千斤顶(8)的顶端接触连接定位销二(7)的下端面。
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