[实用新型]一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮

摘要

本实用新型公开了一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，包括花篮本体，花篮本体包括前板、后板、侧板以及底板，前板分为第一矩形板、第二矩形板以及梯形板，第一矩形板的宽度大于第二矩形板，梯形板的顶边与第二矩形板贴合，底边长度小于顶边长度，后板与前板对称设置，侧板为矩形侧板，且侧板一边与所述第一矩形板的侧边固定，另一边与后板的侧边固定，侧板内表面均匀设有竖直的晶片齿；底板为矩形底板，且底板一边与梯形板的底边固定，另一边与后板的底边固定。本实用新型能够实现铁花篮与石英花篮间交换圆片的功能，避免烘烤后的铁花篮直接与石英花篮接触，减少花篮与花篮间，圆片与圆片间的人为损伤，无需昂贵的设备，操作简单，成本低廉。

主权项

1.一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，其特征在于，包括花篮本体，所述花篮本体包括前板、后板、设置在两侧的侧板以及底板，所述前板分为由上至下的第一矩形板、第二矩形板以及梯形板，所述第一矩形板的宽度大于所述第二矩形板的宽度，所述梯形板的顶边与所述第二矩形板的底边贴合，且梯形板的底边长度小于顶边长度，所述后板与所述前板对称设置，所述侧板为矩形侧板，且侧板一边与所述第一矩形板的侧边固定，另一边与所述后板的侧边固定，所述侧板内表面均匀设有竖直的晶片齿；所述底板为矩形底板，且底板一边与所述梯形板的底边固定，另一边与所述后板的底边固定。