[实用新型]半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置有效

专利信息
申请号: 201821219774.3 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN208743176U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 韦光露;曾志家;张彦平 申请(专利权)人: 深圳市凯尔迪光电科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;H01L21/67;F26B21/00
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 冯筠
地址: 518000 广东省深圳市光明新区公明办事处田*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置,包括喷淋室,设有喷孔的第一喷杆,用于支撑第一喷杆的第一摆动架,电机,第一偏心轮和第一进液管;第一进液管分别与第一喷杆连通,第一偏心轮与电机主轴固定连接,第一偏心轮的第一偏心轴与第一摆动架固定连接,电机通过第一偏心轴驱动第一摆动架摆动。它的优点是第一喷杆和第二喷杆在喷淋室内摆动,因此可以对喷淋室内的待清洗部件全面清洗,清洗效果好,清洗效率高。
搜索关键词: 喷杆 摆动架 偏心轮 半导体封装 第一进液管 喷淋装置 清洗设备 摆动 喷淋 摇摆 电机 室内 本实用新型 偏心轴驱动 电机主轴 清洗部件 清洗效果 清洗效率 全面清洗 喷淋室 偏心轴 喷孔 连通 支撑
【主权项】:
1.一种半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置,其特征在于,包括喷淋室,设有喷孔的第一喷杆,用于支撑第一喷杆的第一摆动架,电机,第一偏心轮和第一进液管;所述第一进液管分别与第一喷杆连通,所述第一偏心轮与电机主轴固定连接,第一偏心轮的第一偏心轴与第一摆动架固定连接,电机通过第一偏心轴驱动第一摆动架摆动。
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