[实用新型]一种新型真空镀铝机

摘要

本实用新型公开了一种新型真空镀铝机，包括真空镀铝机箱体、观察窗、进气口、真空泵、排气口、显示屏、滚轮、环形蒸发室、电源连接线、坩埚、加热丝、加热管、激光射线口、惰性气体、靶材、基片、高能激光器、尾气净化器、二级净化滤板、后板、除尘滤网、加湿滤网和气体反应盒，所述真空镀铝机箱体上设置有观察窗，所述真空镀铝机箱体右侧设置有真空泵，所述真空泵一侧设置有进气口，所述真空泵上设置有显示屏，所述真空镀铝机箱体底端设置有滚轮，所述真空镀铝机箱体内设置有环形蒸发室，所述环形蒸发室一侧设置有电源连接线，所述环形蒸发室上设置有加热管，该种新型真空镀铝机将高能激光器与环形蒸发室合二为一，提高了镀膜的效率与质量。

主权项

1.一种新型真空镀铝机，包括真空镀铝机箱体（1）、观察窗（2）、进气口（3）、真空泵（4）、排气口（5）、显示屏（6）、滚轮（7）、环形蒸发室（8）、电源连接线（9）、坩埚（10）、加热丝（11）、加热管（12）、激光射线口（13）、惰性气体（14）、靶材（15）、基片（16）、高能激光器（17）、尾气净化器（18）、二级净化滤板（19）、后板（20）、除尘滤网（21）、加湿滤网（22）和气体反应盒（23），其特征在于：所述真空镀铝机箱体（1）上设置有观察窗（2），所述真空镀铝机箱体（1）右侧设置有真空泵（4），所述真空泵（4）一侧设置有进气口（3），所述真空泵（4）上设置有显示屏（6），所述真空镀铝机箱体（1）底端设置有滚轮（7），所述真空镀铝机箱体（1）内设置有环形蒸发室（8），所述环形蒸发室（8）一侧设置有电源连接线（9），所述环形蒸发室（8）上设置有加热管（12），所述加热管（12）上缠绕有加热丝（11），所述环形蒸发室（8）上端设置有高能激光器（17），所述高能激光器（17）前端设置有激光射线口（13），所述环形蒸发室（8）中设置有坩埚（10）。