[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821224079.6 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN208701189U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 笔山弘章 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀装置，其具备：真空容器，所述真空容器具有可开关的门；蒸发源，布置在所述真空容器中，用于对蒸镀材料进行加热；以及蒸发源挡板，用于对从所述蒸发源蒸发的蒸镀材料进行遮挡，所述蒸发源挡板配置成在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，其特征在于，至少一个蒸发源挡板安装在所述门上，当所述门打开时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器之外。在工作人员打开门进入真空容器中进行作业时，能够尽可能地减少蒸发源挡板对工作人员的妨碍。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源挡板 真空容器 遮挡位置 蒸镀材料 蒸镀装置 蒸发源 本实用新型 可开关 门打开 可动 加热 遮挡 蒸发 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，具备：真空容器，所述真空容器具有可开关的门；蒸发源，布置在所述真空容器中，用于对蒸镀材料进行加热；以及蒸发源挡板，用于对从所述蒸发源蒸发的蒸镀材料进行遮挡，所述蒸发源挡板配置成在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，其特征在于，至少一个蒸发源挡板安装在所述门上，当所述门关闭时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器中，相对于对应的蒸发源在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，当所述门打开时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器之外。
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