[实用新型]一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置

摘要

本实用新型公开了一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置，包括外围酸排通道、扩散炉的尾气管以及在所述外围酸排通道与所述尾气管连接处加装的外围抽力装置。本实用新型在外围酸排通道与扩散炉的尾气管连接处加装一个恒定外围抽力装置(起稳定负压作用)，在工艺程式中优化各步气体流量，保持管内各步骤气体流量一致性，稳定管内压力，再根据管内压力，调节外围抽负压大小，使得外围抽力等于尾气管抽力，达到平衡时，基本不需要补偿氮或者微量补偿氮，大幅削减耗氮量。

主权项

1.一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置，其特征在于：包括外围酸排通道、扩散炉的尾气管以及在所述外围酸排通道与所述尾气管连接处加装的外围抽力装置。