[实用新型]一种溅镀机的防着板拆换结构

摘要

本实用新型涉及一种溅镀机的防着板拆换结构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件，输送台两侧的下部均设置有避让结构；防着板组件包含固定板和拆换板，固定板通过支架固定，固定板的下端与拆换板的上端连接，形成一个整体，并使固定板和拆换板的前侧表面平滑连接；拆换板的下端设置有延伸部，延伸部与输送台的避让结构配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要更换并清理位于下部的拆换板部分即可，不需要对防着板组件整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，并且提高了拆换和清理的效率。

主权项

1.一种溅镀机的防着板拆换结构，其特征在于：包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板组件，输送台（2）两侧的下部均设置有避让结构（4）；所述防着板组件包含固定板（11）和拆换板（12），固定板（11）通过支架固定，固定板（11）的下端与拆换板（12）的上端连接，形成一个整体，并使固定板（11）和拆换板（12）的前侧表面平滑连接；所述拆换板（12）的下端设置有延伸部（13），延伸部（13）与输送台（2）的避让结构（4）配合。