[实用新型]基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器

摘要

本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层；所述基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面，且位于应力腔的正上方；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；所述电极包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；所述防护层沉积在绝缘层的顶面，并将压力敏感层和电极封装在其内。本实用新型的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

主权项

1.一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器，其特征在于，包括：底座；基底，其位于所述底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层，其位于所述基底的顶面，且位于所述应力腔的正上方；压力敏感层，其位于所述绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；电极，其包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；防护层，其沉积在所述绝缘层的顶面，并将所述压力敏感层和电极封装在其内。