[实用新型]一种防着板自动拆换机构有效
申请号: | 201821230201.0 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN208733210U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 孙建忠 | 申请(专利权)人: | 苏州康普雷森精密机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 于浩江 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种防着板自动拆换机构,包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构;升降机构带动升降板升降,横移机构设置有移动座;拆换板具有安装部和拼接部,安装部安装固定在移动座上,拼接部用于与升降板拼接;所述升降板与拆换板拼接后,升降板和拆换板的前侧工作表面平滑连接,并使安装部与避让结构配合;所述升降板的前侧表面为光面,拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构;由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部,因此,长时间使用后,只需要通过升降机构和横移机构动作,使升降板和拆换板分离,并将拆换板移出更换即可,不需要对防着板整体进行拆换清理,减少了材料的使用,降低了成本,节省了人力。 | ||
搜索关键词: | 拆换 升降板 防着板 拼接 横移机构 升降机构 工作表面 移动座 本实用新型 光面 安装固定 避让结构 颗粒凸起 平滑连接 前侧表面 延伸部 飞溅 靶材 板移 沉积 升降 配合 | ||
【主权项】:
1.一种防着板自动拆换机构,其特征在于:包含升降板(11)、升降机构(12)、拆换板和横移机构(13);所述升降机构(12)带动升降板(11)升降,横移机构(13)设置有移动座(14),横移机构(13)带动移动座(14)沿横向移动;所述拆换板具有安装部(15)和拼接部(16),安装部(15)安装固定在移动座(14)上,拼接部(16)用于与升降板(11)拼接;所述升降板(11)与拆换板拼接后,升降板(11)和拆换板的前侧工作表面平滑连接,并使安装部(15)与避让结构(4)配合;所述升降板(11)的前侧表面为光面,拆换板的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构(21)。
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