[实用新型]一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座

摘要

本实用新型公开了一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体、盖板、柱形固定套和衬套，所述支撑座主体包括用于支撑滚轮的支撑板，所述支撑板的上侧固定连接有上横板，所述上横板的两端分别开设有两个第一螺栓孔，所述上横板的上表面开设有若干个方形槽口，所述上横板的一侧开设有若干个卡槽，所述上横板的底面固定连接有柱形槽，所述柱形槽的下端固定连接有下横板，所述下横板的一侧固定连接在支撑板的下侧，所述盖板包括盖板主体，本实用新型在固定套内侧设置衬套并放置支撑座主体内侧设置柱形槽内，通过衬套来为滚轮的转轴提供转动支撑，便于对衬套和柱形固定套进行更换，无需因单一磨耗而更换整体支撑座，简单方便，实用性强。

主权项

1.一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体(1)，其特征在于，通过螺栓固定连接于所述支撑座主体(1)上表面的盖板(2)，内设于所述支撑座主体(1)的柱形固定套(3)和内设于所述柱形固定套(3)的衬套(4)；所述支撑座主体(1)包括用于支撑滚轮的支撑板(11)，所述支撑板的表面开设有若干个圆孔(12)，所述圆孔(12)呈等距直线分布，所述支撑板(11)的上侧固定连接有上横板(13)，所述上横板(13)的两端分别开设有两个第一螺栓孔(14)，所述上横板(13)的上表面开设有若干个方形槽口(15)，所述上横板(13)的一侧开设有若干个卡槽(16)，所述上横板(13)的底面固定连接有柱形槽(17)，所述柱形槽(17)的下端固定连接有下横板(18)，所述柱形槽(17)位于方形槽口(15)的正下方，所述下横板(18)的一侧固定连接在支撑板(11)的下侧；所述盖板(2)包括盖板主体(21)，所述盖板主体(21)的两端分别开设有两个第二螺栓孔(22)，所述盖板主体(21)的底面固定连接有若干个连接板(23)，所述连接板(23)位于盖板主体(21)底面的一侧，所述连接板(23)的下端固定连接有限位板(24)；所述柱形固定套(3)设置在柱形槽(17 )内侧，所述柱形固定套(3)的一侧开设有圆形槽(5)，所述衬套(4)安装在圆形槽(5)内侧。