[实用新型]薄膜太阳能电池膜层沉积设备有效
| 申请号： | 201821233354.0 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN209052754U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张冲;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种薄膜太阳能电池膜层沉积设备。本实用新型中，所述薄膜太阳能电池膜层沉积设备包括具有收容空间的腔体、设置于所述收容空间内且具有碱金属材料收容部的样品架、以及加热所述腔体的加热装置。本实用新型提供的薄膜太阳能沉积设备不会破坏样品的沉积环境、减少生产样品的时间成本及设备的清理难度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜太阳能电池 本实用新型 膜层沉积 收容空间 腔体 太阳能电池技术 薄膜太阳能 碱金属材料 沉积设备 加热装置 时间成本 样品架 沉积 加热 收容 生产 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，包括具有收容空间的腔体、设置于所述收容空间内且具有碱金属材料收容部的样品架、以及加热所述腔体的加热装置；还包括：分别与所述腔体相连的第一气体气源和硫化氢气源，所述第一气体气源为惰性气体气源或氮气气源；所述腔体上设置有与所述收容空间连通的进气口和出气口，所述进气口经由气路与所述第一气体气源和硫化氢气源连通，所述气路包括与所述硫化氢气源相连的第一气路、与所述第一气体气源相连的第二气路、将第一气路和第二气路连接至所述进气口的第三气路。
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