[实用新型]移动式微波单元有效
| 申请号： | 201821237855.6 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN208608166U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 施中玲;陈伏宏;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体设备制造领域，公开了一种移动式微波单元，设置在晶圆刻蚀机台内的放电管上，包括：微波发生器、微波施加器以及线性运动装置；微波施加器可滑动地套设在放电管上；线性运动装置设置在微波发生器上，能够驱动微波发生器和微波施加器一同滑动；并且微波发生器通过微波管道与微波施加器连接。本实用新型提供的移动式微波单元可滑动地设置在放电管上，当微波施加器在放电管上工作达到有效工作时间后，移动微波施加器至放电管的另一位置继续开始工作，从而延长放电管的使用寿命、降低生产成本。并且通过上述方式可以有效减少拆开刻蚀机台的次数进而减少金属及氧化物的颗粒污染、降低维护刻蚀机台的频率，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 放电管 微波施加器 微波发生器 刻蚀机台 微波单元 移动式 线性运动装置 本实用新型 可滑动地 半导体设备制造 金属及氧化物 颗粒污染 生产效率 使用寿命 微波管道 移动微波 有效减少 施加器 滑动 晶圆 拆开 驱动 维护 | ||
【主权项】：
1.一种移动式微波单元，设置在晶圆刻蚀机台内的放电管上，其特征在于，包括：微波发生器、微波施加器以及线性运动装置；所述微波施加器可滑动地套设在所述放电管上；所述线性运动装置设置在微波发生器上，能够驱动所述微波发生器和所述微波施加器一同滑动；所述微波发生器通过微波管道与所述微波施加器连接。
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