[实用新型]一种图形化衬底、LED外延片有效
申请号: | 201821239873.8 | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN208738290U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 付星星;康凯;陆前军 | 申请(专利权)人: | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种图形化衬底、LED外延片,其中,图形化衬底包括:蓝宝石基板;位于所述蓝宝石基板上的图形化二氧化硅层,所述图形化二氧化硅层包括多个微结构,所述微结构带有侧壁弧度。本实用新型提供的图形化衬底、LED外延片及图形化衬底制备方法通过在蓝宝石基板上形成带有侧壁弧度的二氧化硅微结构,构成图形化二氧化硅层,能够利用侧壁弧度改变微结构对光的有效散射面积,从而使得以其制备而成的LED器件可以打破出光界面的全反射限制,进一步提高LED有源区的出射光出光效率,提高LED的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 图形化 衬底 微结构 二氧化硅层 蓝宝石基板 侧壁 本实用新型 制备 出光效率 二氧化硅 发光效率 出射光 全反射 散射 源区 | ||
【主权项】:
1.一种图形化衬底,其特征在于,包括:蓝宝石基板;位于所述蓝宝石基板上的图形化二氧化硅层,所述图形化二氧化硅层包括多个微结构,所述微结构带有侧壁弧度。
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