[实用新型]一种高纯铬圆靶有效
| 申请号： | 201821242979.3 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208748189U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 齐宝明 | 申请（专利权）人： | 陕西中北泰钽铌金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石淑珍 |
| 地址： | 721000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯铬圆靶，所述高纯铬圆靶采用高纯铬材料制成，所述高纯铬圆靶包括铬圆靶主体、铜背板，所述铬圆靶主体为圆台型结构，所述铬圆靶主体包括第一圆柱段、第二圆柱段，所述第一圆柱段的直径小于第二圆柱段的直径，所述第一圆柱段侧面具有第一外螺纹，所述第二圆柱段底面设置有圆槽，所述铜背板为圆柱形结构，所述铜背板外侧面设置有第二外螺纹，所述铜背板底部设置有圆柱形空腔，所述铜背板沿圆柱形空腔侧面设置有内螺纹，所述铬圆靶主体的第一外螺纹与铜背板的内螺纹配合连接，不用通过钎焊的方式做绑定，装配方便，大大简化了工艺程序，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 圆靶 铜背板 圆柱段 高纯铬 外螺纹 圆柱形空腔 内螺纹 本实用新型 圆台型结构 圆柱形结构 侧面设置 工艺程序 配合连接 装配方便 外侧面 绑定 底面 钎焊 圆槽 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种高纯铬圆靶，其特征在于，所述高纯铬圆靶采用高纯铬材料制成，所述高纯铬圆靶包括铬圆靶主体(1)、铜背板(2)，所述铬圆靶主体(1)为圆台型结构，所述铬圆靶主体(1)包括第一圆柱段(11)、第二圆柱段(12)，所述第一圆柱段(11)的直径小于第二圆柱段(12)的直径，所述第一圆柱段(11)侧面具有第一外螺纹(13)，所述第二圆柱段(12)底面设置有圆槽(14)，所述铜背板(2)为圆柱形结构，所述铜背板(2)外侧面设置有第二外螺纹(21)，所述铜背板(2)底部设置有圆柱形空腔，所述铜背板(2)沿圆柱形空腔侧面设置有内螺纹(22)，所述第一外螺纹(13)与内螺纹(22)尺寸相匹配，所述铬圆靶主体(1)的第一外螺纹(13)与铜背板(2)的内螺纹(22)配合连接。
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