[实用新型]一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，包括水环真空泵本体，所述水环真空泵本体的底部固定安装有固定座，且水环真空泵本体的一侧设置有制冷水箱，所述固定座的内部安装有减震器，且固定座的上表面设置有压缩泵，所述压缩泵的一侧安装有驱动电机。本实用新型结构科学合理，操作方便，通过过滤器能够对吸气口吸入的气体进行过滤净化，利用过滤网吸附其中的固体颗粒及腐蚀气体，使设备处于一个较为安全的环境下工作，降低设备工作过程中的腐蚀及硬性撞击现象，延长水环真空泵的使用寿命，通过制冷水箱，能够利用半导体制冷片和半导体导冷片对箱体中的水进行降温处理，实现水环真空泵工作水的冷却。

主权项

1.一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，包括水环真空泵本体(1)，其特征在于，所述水环真空泵本体(1)的底部固定安装有固定座(2)，且水环真空泵本体(1)的一侧设置有制冷水箱(6)，所述固定座(2)的内部安装有减震器(3)，且固定座(2)的上表面设置有压缩泵(4)，所述压缩泵(4)的一侧安装有驱动电机(5)，所述压缩泵(4)的顶部设置有吸气口(7)，且压缩泵(4)的顶部位于吸气口(7)的一侧位置处设置有排气口(9)，所述吸气口(7)的顶部安装有过滤器(8)，所述制冷水箱(6)与压缩泵(4)的连接处安装有进水管(10)。