[实用新型]一种碳化硅晶体的生长装置有效
| 申请号： | 201821245929.0 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN208649506U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈华荣;张洁;廖弘基;蔡如腾 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种碳化硅晶体的生长装置，用于通过物理气相沉积法生长碳化硅晶体，包括坩埚盖、盛放碳化硅原料的坩埚，坩埚盖上设置有籽晶夹持器，籽晶夹持器在碳化硅晶体生长过程中通过夹爪固定碳化硅籽晶，籽晶夹持器包括导气孔或导气槽或两者兼有，导通反应时的气流，避免气流在夹持器内凝结。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅晶体 籽晶夹持器 生长装置 坩埚盖 物理气相沉积法 本实用新型 碳化硅原料 碳化硅籽晶 生长过程 导气槽 导气孔 反应时 夹持器 导通 夹爪 盛放 坩埚 凝结 生长 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅晶体的生长装置，用于通过物理气相沉积法生长碳化硅晶体，包括坩埚盖、盛放碳化硅原料的坩埚，其特征在于：所述坩埚盖上设置有籽晶夹持器，所述籽晶夹持器在碳化硅晶体生长过程中通过夹爪固定碳化硅籽晶，所述籽晶夹持器包括导气孔或导气槽或两者兼有，导通反应时的气流，避免气流在夹持器内凝结。
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