[实用新型]一种用于真空腔室的冷却结构有效
| 申请号： | 201821252909.6 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN208829749U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 韩晓琳;汪振南;刘洋;见东伟;刘福山 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京天驰君泰律师事务所 11592 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于真空腔室的冷却结构，包括：多个流道壁，其设置于所述真空腔室外表面；以及至少一个弯头，其设置于所述真空腔室外表面，并配置为连接所述多个流道壁；其中，所述多个流道壁、至少一个所述弯头分别与所述真空腔室的外表面形成冷却水的管道。本实用新型公开的ROC镀膜真空腔室冷却结构通过多个弯头将流道壁连接起来，代替传统管道之间的直角连接，可以避免冷却水因直角造成的压力损失，以及通过将流道壁焊接于真空腔室上，冷却水可直接与真空腔室接触，有效的提高冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔室 流道壁 冷却结构 冷却水 弯头 本实用新型 室外表面 真空腔 传统管道 镀膜真空 冷却效果 压力损失 直角连接 面形 腔室 焊接 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空腔室的冷却结构，其特征在于，包括：多个流道壁，其设置于所述真空腔室外表面；以及至少一个弯头，其设置于所述真空腔室外表面，并配置为连接所述多个流道壁；其中，所述多个流道壁、至少一个所述弯头分别与所述真空腔室的外表面形成冷却水的管道。
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