[实用新型]一种加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置，该加药校准装置包括储液装置、计量容器、电控流量计、质量检测装置、控制器及导液泵，计量容器与储液装置连接；电控流量计连接在储液装置和计量容器之间，用于计量储液装置向计量容器输送药液的流量；质量检测装置用于计量计量容器的质量；控制器分别与电控流量计和质量检测装置连接，用于根据质量检测装置和电控流量计的计量结果校准电控流量计；导液泵与计量容器连接，用于排出计量容器内的药液；该化学水浴沉积镀膜装置包括镀膜设备和如上的加药校准装置，镀膜设备通过电控流量计与储液装置连接。该加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置，结构简单，安全风险较低，自动化程度较高。

主权项

1.一种加药校准装置，其特征在于，包括：储液装置；计量容器，其与所述储液装置连接；电控流量计，其连接在所述储液装置和所述计量容器之间，用于计量所述储液装置向所述计量容器输送药液的流量；质量检测装置，其用于计量所述计量容器的质量；控制器，其分别与所述电控流量计和所述质量检测装置连接，用于根据所述质量检测装置和所述电控流量计的计量结果校准所述电控流量计；导液泵，其与所述计量容器连接，用于排出所述计量容器内的药液。