[实用新型]光罩运输设备有效
| 申请号： | 201821253884.1 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN208772040U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种光罩运输设备，该设备包括机械手臂和光罩传输载具，机械手臂与光罩传输载具连接，光罩传输载具用以运输光罩，光罩运输设备还包括微尘净化喷嘴、进气管道及与进气管道连接的净化气体源，微尘净化喷嘴设置于光罩传输载具上，本实用新型提高了光罩的洁净度，防止了光罩上的图形失真，提升了晶圆产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩 载具 运输设备 传输 本实用新型 机械手臂 进气管道 喷嘴 微尘 净化气体源 晶圆产品 图形失真 净化 洁净度 良率 运输 | ||
【主权项】：
1.一种光罩运输设备，包括：机械手臂；光罩传输载具，以固定光罩，所述光罩传输载具与所述机械手臂连接；其特征在于，所述光罩运输设备还包括微尘净化喷嘴、进气管道及与所述进气管道连接的净化气体源，所述微尘净化喷嘴设置于所述光罩传输载具上。
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