[实用新型]MEMS器件和自动聚焦系统

摘要

本申请涉及MEMS器件和自动聚焦系统。MEMS器件包括具有第一腔体的半导体支撑体，包括固定到支撑体的周边部分和悬置部分的膜。第一可变形结构与膜的悬置部分的中心部分相隔一段距离，并且第二可变形结构朝向膜的周边部分而相对于第一可变形结构横向偏移。将突出区域固定在膜下方。第二可变形结构是可变形的，以便沿第一方向平移膜的悬置部分的中心部分，并且第一可变形结构是可变形的，以便沿第二方向平移膜的悬置部分的中心部分。由此提供改进的MEMS器件和自动聚焦系统。

主权项

1.一种MEMS器件，其特征在于，包括：支撑体，至少部分地由半导体材料形成；第一腔体，在所述支撑体内延伸；膜，包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，并且所述膜包括在所述第一表面上固定到所述支撑体的周边部分和在所述第一腔体上方延伸的悬置部分；突出区域，固定到所述膜的所述第一表面；第一可变形结构，在所述膜的所述悬置部分的所述第二表面上方延伸，与所述膜的所述悬置部分的中心部分相隔一段距离，所述第一可变形结构相对于所述突出区域而朝向所述膜的所述周边部分横向突出，并且所述突出区域相对于所述第一可变形结构而朝向所述膜的所述悬置部分的中心部分横向突出，所述第一可变形结构以电可控制的方式是可变形的，以致使所述膜的所述悬置部分的变形，从而致使所述悬置部分的中心部分沿第一方向平移；和第二可变形结构，至少部分地在所述膜的所述悬置部分的第二表面上方延伸，所述第二可变形结构在所述膜的所述周边部分的方向上从所述第一可变形结构横向偏移，所述第二可变形结构以电可控制的方式是可变形的，以致使所述膜的所述悬置部分的变形，从而致使所述悬置部分的中心部分沿不同于所述第一方向的第二方向平移。