[实用新型]表面具凸纹结构薄膜的曲面基板有效
| 申请号： | 201821264243.6 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN209014905U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 翁沛喜;许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案;翁沛喜 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及曲面基板制造技术领域，具体公开了一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其包括：一曲面基板，该曲面基板的表面具有一凸纹结构薄膜，且该凸纹结构薄膜的图案的解析度介于0.1‑100微米(um)之间。本实用新型提供的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，运用激光直写影像技术(Laser Direct Imaging,LDI)与光阻制程，来解决过去运用光阻制程需要光罩的问题，实现无须光罩、制程简单、解析度高、低成本的特殊技术功效。 | ||
| 搜索关键词： | 曲面基板 凸纹结构 薄膜 制程 解析度 光罩 光阻 本实用新型 激光直写 技术功效 影像技术 低成本 图案 制造 | ||
【主权项】：
1.一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，其包括：一曲面基板，该曲面基板的表面具有一凸纹结构薄膜，且该凸纹结构薄膜的图案的解析度介于0.1‑100微米之间。
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