[实用新型]真空机及真空机系统

摘要

本实用新型实施例涉及芯片加工技术领域，具体而言，涉及一种真空机及真空机系统。该真空机包括本体、上盖、真空测量件、连接管道、真空泵组件和计时器，本体包括具有开口的腔体，连接管道连通于腔体和真空泵组件之间，真空测量件设置于本体并与腔体连通，计时器分别与真空测量件和真空泵组件电连接，上盖活动连接于开口的边缘，上盖扣合于开口处，以实现对腔体的密封，真空测量件用于测量腔体中的真空度，在真空度达到目标真空度时触发计时器进行倒计时，计时器用于在倒计时结束后触发真空泵组件关闭，该真空机能够在对芯片进行抽真空处理的时候达到芯片所需的真空度要求。

主权项

1.一种真空机，其特征在于，包括：本体、上盖、真空测量件、连接管道、真空泵组件和计时器；所述真空泵组件设置于所述本体，所述本体包括具有开口的腔体，所述连接管道的一端与所述腔体连通、另一端与所述真空泵组件连通；所述真空测量件设置于所述本体，所述真空测量件与所述腔体连通，所述真空测量件与所述计时器电连接，所述真空测量件用于测量所述腔体中的真空度，在所述真空度达到目标真空度时触发所述计时器进行倒计时；所述计时器与所述真空泵组件电连接，所述计时器用于在倒计时结束后触发所述真空泵组件关闭；所述上盖活动连接于所述开口的边缘，所述上盖扣合于所述开口处，以实现对所述腔体的密封。