[实用新型]一种槽式制绒放料装置有效
申请号: | 201821270074.7 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN208580719U | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 刘庆平;邱江南;邵辉良;李超 | 申请(专利权)人: | 江西展宇新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种槽式制绒放料装置,包括用于承载硅片的制绒花篮,还包括用于放置制绒花篮,以供机械手提取制绒花篮的上料台:制绒花篮包括安装在左侧的左安装板和安装在右侧的右安装板;左安装板、右安装板中的至少一个安装板上设置有标识,且上料台的预设位置处设置有与标识相对应的安放标识,其中,预设位置为用于对应放置制绒花篮的位置。本申请公开的上述技术方案,在制绒花篮左安装板、右安装板的至少一个安装板上设置标识,并在上料台预设位置处设置与安装板上的标识相对应的安放标识,使操作人员可以根据标识以及与标识对应的安放标识将制绒花篮按照正确地方向放置在上料台上,以使机械手可以按照正确的方向提取制绒花篮。 | ||
搜索关键词: | 制绒 花篮 右安装板 预设位置 左安装板 安装板 上料台 机械手 放料装置 种槽 本实用新型 方向提取 硅片 上料 承载 申请 | ||
【主权项】:
1.一种槽式制绒放料装置,其特征在于,包括用于承载硅片的制绒花篮,还包括用于放置所述制绒花篮,以供机械手提取所述制绒花篮的上料台:所述制绒花篮包括安装在左侧的左安装板和安装在右侧的右安装板;所述左安装板、所述右安装板中的至少一个安装板上设置有标识,且所述上料台的预设位置处设置有与所述标识相对应的安放标识,其中,所述预设位置为用于对应放置所述制绒花篮的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造