[实用新型]一种旋转钼靶材的表面处理装置有效
申请号: | 201821276449.0 | 申请日: | 2018-08-08 |
公开(公告)号: | CN209140519U | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 文宏福 | 申请(专利权)人: | 韶关市欧莱高新材料有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B24B5/04 | 分类号: | B24B5/04;B24B55/02;B24B55/04;B24B55/00;B24B41/06;B24B49/04;B24B41/02 |
代理公司: | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人: | 吴静芝 |
地址: | 512000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种旋转钼靶材的表面处理装置,所述旋转钼靶材的表面处理装置包括:机体,所述机体包括机身和底座;旋转夹持机构,所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座,所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端,所述夹持件与所述主轴箱驱动连接,所述尾座上枢接有一旋转顶尖,所述夹持件和旋转顶尖相向设置;滑动座,所述滑动座滑动设置在所述机身上,并位于所述主轴箱和尾座之间;旋转磨具,所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。通过旋转夹持机构、滑动座和旋转磨具的配合,能够快速磨掉旋转钼靶材的细划痕,经过此装置处理的钼靶材表面光滑并且均匀一致。 | ||
搜索关键词: | 滑动座 主轴箱 钼靶材 尾座 表面处理装置 旋转夹持机构 夹持件 磨具 旋转顶尖 机身 本实用新型 钼靶材表面 滑动设置 均匀一致 驱动连接 相向设置 装置处理 底座 划痕 枢接 光滑 配合 | ||
【主权项】:
1.一种旋转钼靶材的表面处理装置,其特征在于,所述旋转钼靶材的表面处理装置包括:机体,所述机体包括机身和底座;旋转夹持机构,所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座,所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端,所述夹持件与所述主轴箱驱动连接,所述尾座上枢接有一旋转顶尖,所述夹持件和旋转顶尖相向设置;滑动座,所述滑动座滑动设置在所述机身上,并位于所述主轴箱和尾座之间;旋转磨具,所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。
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