[实用新型]一种用于LDI曝光机的载具机构有效

专利信息
申请号: 201821280529.3 申请日: 2018-08-09
公开(公告)号: CN208654536U 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 舒向云 申请(专利权)人: 上海嘉捷通电路科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 叶敏华
地址: 201807 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种用于LDI曝光机的载具机构,包括大底座、滑杆和载板片,所述大底座沿斜对角方向平行设有与所述滑杆的直径相匹配的滑槽,所述滑杆安装于所述滑槽内,所述载板片的一边与所述滑杆活动连接,所述载板片的表面设有若干用于放置PCB板的PCB板槽,所述PCB板槽的周围还设置有若干用于LDI曝光机定位的定位孔,所述PCB板槽的左上角还设置有用于防止PCB板涨缩导致尺寸偏移的调节磁扣。与现有技术相比,本实用新型具有同时可对多个PCB板进行曝光,精度高,防止因涨缩现象而产生对于PCB板定位偏移进而导致良品率低,提高曝光机激光头使用寿命等优点。
搜索关键词: 曝光机 滑杆 本实用新型 载具机构 大底座 板片 滑槽 尺寸偏移 定位偏移 方向平行 活动连接 使用寿命 定位孔 激光头 良品率 斜对角 磁扣 载板 匹配 曝光
【主权项】:
1.一种用于LDI曝光机的载具机构,其特征在于,包括大底座(1)、滑杆(2)和载板片(3),所述大底座(1)沿斜对角方向平行设有与所述滑杆(2)的直径相匹配的滑槽,所述滑杆(2)安装于所述滑槽内,所述载板片(3)的一边与所述滑杆(2)活动连接,所述载板片(3)的表面设有多个用于放置PCB板的PCB板槽(31),所述PCB板槽(31)的周围还设置有多个用于LDI曝光机定位的定位孔(311),所述PCB板槽(31)的左上角还设置有用于防止PCB板涨缩导致尺寸偏移的调节磁扣(312)。
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