[实用新型]乙硅烷的制备装置有效
| 申请号： | 201821282840.1 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208700586U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;严大洲;赵雄;郭树虎;赵宇 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型一实施方式提供了一种乙硅烷的制备装置，包括过滤单元、第一精馏塔、第二精馏塔和反应器；其中，所述第一精馏塔与所述过滤单元相连，所述第二精馏塔与所述第一精馏塔相连，所述反应器与所述第二精馏塔相连。本实用新型一实施方式的装置，以多晶硅残液为原料，可制备出满足半导体行业应用的高纯乙硅烷。 | ||
| 搜索关键词： | 精馏塔 乙硅烷 本实用新型 过滤单元 制备装置 反应器 半导体行业 多晶硅 残液 高纯 制备 应用 | ||
【主权项】：
1.一种乙硅烷的制备装置，其特征在于，包括：过滤单元；第一精馏塔，与所述过滤单元相连；第二精馏塔，与所述第一精馏塔相连；以及反应器，与所述第二精馏塔相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司，未经洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821282840.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效节能还原炉底盘和多晶硅还原炉
- 下一篇：多晶硅生产中高沸物裂解系统
