[实用新型]机械手臂有效
| 申请号： | 201821286077.X | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208663800U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 薛荣华;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂。所述机械手臂，包括手臂本体、基座和支撑结构；所述手臂本体用于承载晶圆，所述基座与所述手臂本体的端部连接；所述支撑结构包括相对的第一末端和第二末端，所述第一末端与所述基座倾斜连接，所述第二末端与所述手臂本体的中部连接。本实用新型提高了机械手臂结构的稳定性，避免了所述手臂本体在承载晶圆的过程中易出现抖动的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 手臂本体 机械手臂 本实用新型 支撑结构 晶圆 半导体制造技术 承载 端部连接 倾斜连接 抖动 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂，其特征在于，包括手臂本体、基座和支撑结构；所述手臂本体用于承载晶圆，所述基座与所述手臂本体的端部连接；所述支撑结构包括相对的第一末端和第二末端，所述第一末端与所述基座倾斜连接，所述第二末端与所述手臂本体的中部连接。
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