[实用新型]一种真空镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空室、电机、减速机、金属管和联动结构，所述真空室内部设有一顶板和一底板，减速机的输出端上固定连接一第一轴杆，第一轴杆中间焊接固定安装一第一齿轮，顶板的底面和底板的表面上均嵌入式安装两个第一轴承，第一轴承中均焊接固定安装一定位杆，底板的底面的中心处焊接固定安装一可固定式伸缩杆，可固定式伸缩杆下端焊接固定安装一第二轴杆。本实用新型结构简单，能有效的避免金属管之间发生碰撞，且金属管在公转的同时能自转，增加了镀膜时的均匀性，同时下端的固定部能与上端的固定部同步的旋转，使得旋转过程中能保持均匀，且该装置只使用到一个电机，降低了成本。

主权项

1.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括真空室、电机、减速机、金属管和联动结构，所述真空室内部设有一顶板和一底板，顶板的中心处设有一通孔，电机通过螺栓固定于真空室内部的顶面上，减速机通过螺栓固定于通孔下端，电机的转轴穿过通孔与减速机固定连接，电机的转轴与通孔之间焊接固定，减速机的输出端上固定连接一第一轴杆，第一轴杆中间焊接固定安装一第一齿轮，电机上的转轴位于顶板上端的一段上焊接固定安装一第二齿轮，顶板的底面和底板的表面上均嵌入式安装两个第一轴承，第一轴承中均焊接固定安装一定位杆，定位杆的相对面上均焊接固定安装一定位板，上端的两个定位杆正对于第一齿轮处均焊接固定安装一第三齿轮，两个第三齿轮与第一齿轮之间盘绕设有一第一链条，底板的底面的中心处焊接固定安装一可固定式伸缩杆，可固定式伸缩杆下端焊接固定安装一第二轴杆，真空室内部的底面上正对于第二轴杆处嵌入式安装一第二轴承，第二轴杆下端插入第二轴承的内环中，并与内环焊接固定，第二轴杆中间焊接固定安装一第四齿轮。