[实用新型]一种新型的液刀系统及蚀刻设备有效
| 申请号： | 201821299200.1 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN208898996U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 刘威;崔子龙;俎阿敏;吴德生 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/08 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型的液刀系统，包括主液刀及副液刀；主液刀包括第一喷口，副液刀包括第二喷口；所述第一喷口方向与基板呈向下倾斜角度设置，第二喷口方向与基板呈垂直方向角度布置；在相对于基板的传送方向上，副液刀第二喷口喷射方向与基板的交点位于主液刀第一喷口喷射方向与基板的交点的后方。本实用新型还公开了包括上述一种液刀系统的蚀刻设备。通过在主液刀旁边设置副液刀，主液刀向基板喷出与基板呈向下倾斜方向的蚀刻液，副液刀向基板喷出与基板呈垂直方向角度的蚀刻液。副液刀向基板喷出的液体与基板形成液帘。液帘的缓冲效果会吸收主液刀喷淋的液体打在基板上而造成液滴飞溅，使液滴平缓的落下。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 副液 喷口 主液 喷出 本实用新型 喷射方向 蚀刻设备 向下倾斜 蚀刻液 液刀 液滴 液帘 传送方向 缓冲效果 角度布置 角度设置 飞溅 落下 喷淋 种液 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种新型的液刀系统，其特征在于，包括主液刀及副液刀；主液刀包括第一喷口，副液刀包括第二喷口；所述第一喷口与基板呈向下倾斜角度设置，第二喷口与基板呈垂直方向角度布置；在相对于基板的传送方向上，第二喷口的液体出口方向与基板的交点位于第一喷口液体出口方向与基板的交点的后方。
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