[实用新型]一种多晶硅片制绒刻蚀槽

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产领域。一种多晶硅片制绒刻蚀槽，包括装有第一刻蚀液的第一刻蚀槽（2）、第一搬运装置（3）、装有水的清洗槽（21）、第二搬运装置（5）、烘干室（22）、第三搬运装置（7）、装有第二刻蚀液的第二刻蚀槽（9），第一刻蚀槽（2）中安装有第一滚轮传动结构（1），清洗槽（21）中安装有第二滚轮传动结构（4），烘干室（22）中安装有第三滚轮传动结构（6），第二刻蚀槽（9）中安装有第四滚轮传动结构（8），烘干室（22）中安装有鼓风机（10）。本实用新型通过两个刻蚀槽，采用差异性配液比例刻蚀使制绒表面达到最优的制绒外观。

主权项

1.一种多晶硅片制绒刻蚀槽，其特征在于：包括装有第一刻蚀液的第一刻蚀槽（2）、第一搬运装置（3）、装有水的清洗槽（21）、第二搬运装置（5）、烘干室（22）、第三搬运装置（7）、装有第二刻蚀液的第二刻蚀槽（9），第一刻蚀槽（2）中安装有第一滚轮传动结构（1），清洗槽（21）中安装有第二滚轮传动结构（4），烘干室（22）中安装有第三滚轮传动结构（6），第二刻蚀槽（9）中安装有第四滚轮传动结构（8），烘干室（22）中安装有鼓风机（10），第一滚轮传动结构（1）的左端有第一传动链带（11），第一滚轮传动结构（1）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第二滚轮传动结构（4）的左端有第一传动链带（11），第二滚轮传动结构（4）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第三滚轮传动结构（6）的左端有第一传动链带（11），第三滚轮传动结构（6）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第四滚轮传动结构（8）的左端有第一传动链带（11），第四滚轮传动结构（8）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15）。