[实用新型]用于晶圆处理设备的进气管和晶圆处理设备有效
| 申请号： | 201821313890.1 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN208750280U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 高航;孟宪宇;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F16L57/00 | 分类号： | F16L57/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶圆处理设备的进气管和晶圆处理设备，所述进气管包括：管体，包括内壁和外壁；保护层，覆盖所述内壁和/或外壁，所述保护层的机械强度大于所述管体的机械强度。所述保护层能够提高所述进气管的机械强度，使得所述进气管在使用过程中不易发生破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 进气管 晶圆处理设备 保护层 管体 内壁 外壁 本实用新型 破裂 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶圆处理设备的进气管，其特征在于，包括：管体，包括内壁和外壁；保护层，覆盖所述内壁和/或外壁，所述保护层的机械强度大于所述管体的机械强度。
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